WITSKY 智天网

溅射靶：关键，可靠，性能优越

2023-01-21
/ 技术研发
/ 热度：9669
溅射靶是溅射设备的核心和关键，如果您把溅射设备比作炮，那么溅射靶就相当于炮弹，它在溅射设备中起着基石的作用。它的优劣直接影响到溅射设备的性能、工作效率和使用寿命。
溅射靶：关键，可靠，性能优越

在溅射工艺中，溅射靶的作用是通过高能粒子的轰击，溅射出靶材原子，然后沉积在基底材料上，形成薄膜。溅射靶的质量和性能直接影响到沉积薄膜的质量和性能。因此，选择合适的溅射靶对于溅射工艺的成功至关重要。

## 溅射靶的制作方法

溅射靶的制作方法有很多种，其中最常见的是粉末冶金法和熔炼法。

  • 粉末冶金法：将靶材粉末混合均匀，然后压制成型，最后烧结而成。这种方法的优点是工艺简单，成本低，但缺点是靶的密度和强度较低。

  • 熔炼法：将靶材熔炼成液态，然后浇铸成型。这种方法的优点是靶的密度和强度较高，但缺点是工艺复杂，成本高。

    • ## 溅射靶的种类

    溅射靶的种类很多，按靶材的化学成分可分为纯金属靶、合金靶、化合物靶和氧化物靶等。

  • 纯金属靶：由单一金属元素组成，如金、银、铜、铝等。纯金属靶的优点是靶材纯度高，靶材质量稳定，溅射速率高，但缺点是靶的熔点低，容易变形和熔化。

  • 合金靶：由两种或多种金属元素组成，如铜铝合金、银锡合金、金银合金等。合金靶的优点是靶材的熔点高于纯金属靶，不易变形和熔化，但缺点是靶材的成分不均匀，溅射速率低于纯金属靶。

  • 化合物靶：由两种或多种元素的化合物组成，如氧化物、氮化物、碳化物等。化合物靶的优点是靶材的熔点高，不易变形和熔化，溅射速率稳定，但缺点是靶材的成分不均匀，溅射速率低于纯金属靶和合金靶。

  • 氧化物靶：由金属元素与氧元素结合而成的化合物，如氧化铝、氧化硅、氧化钛等。氧化物靶的优点是靶材的熔点高，不易变形和熔化，溅射速率稳定，但缺点是靶材的成分不均匀，溅射速率低于纯金属靶、合金靶和化合物靶。

    • 标签：溅射靶,溅射,溅射工艺,溅射设备,薄膜
    上一篇>> 如何在 SD 卡上安装 ZIP 文件：分步指南 下一篇>> 秋天的童话泰剧——一段唯美浪漫的爱情故事

    兴趣推荐

    • 双向玻璃：单向透视背后的科学原理及其应用

      1年前: 双向玻璃是一种神奇的玻璃，它可以让人们从一边看到另一边，而另一边的人却看不到这边。这种玻璃也被称为间谍玻璃或透视玻璃，它在安全、隐私和监视等领域有着广泛的应用。

    • 薄的含义和用法

      1年前: “薄”字的含义和用法。

    • 什么是ALD？一条龙了解ALD技术

      1年前: ALD，全称原子层沉积，是一种以原子为单位的精确沉积技术，可以精确控制薄膜的厚度和组成，因此在先进的集成电路、光电子、 MEMS 和传感器制造中必不可少。接下来就为大家介绍下原子层沉积（ALD）。

    • 溅组词：水花四溅，趣味盎然

      7个月前: “溅”字是一个常见的汉字，既可以表示水花四溅，也可以衍生出多种有趣的组词。让我们一起探索“溅”字的组词世界，领略汉语词汇的丰富多彩。

    随机推荐