什么是ALD?一条龙了解ALD技术
原子层沉积(ALD)是一种以原子为单位的精确沉积技术,可以精确控制薄膜的厚度和组成。该技术是基于化学气相沉积(CVD)技术,但它使用交替的脉冲来沉积薄膜。第一个脉冲是金属有机前驱物,第二个脉冲是氧化剂。金属有机前驱物与氧化剂反应,形成薄膜。交替的脉冲可以精确控制薄膜的厚度和组成。
ALD技术的优点有很多,包括:
ALD技术在电子、光电子、MEMS和传感器制造领域得到了广泛的应用。随着这些领域的不断发展,ALD技术也将发挥越来越重要的作用。
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